1、故障現象：某配套SIEMENSPRIMOS系統、6RA26**系列直流伺服驅動系統的數控滾齒機，開機后移動機床的Z軸，系統發生“ERR22跟隨誤差超差”報警。

      分析與處理過程：數控機床發生跟隨誤差超過報警，其實質是實際機床不能到達指令的位置。引起這一故障的原因通常是伺服系統故障或機床機械傳動系統的故障。

      由于機床伺服進給系統為全閉環結構，無法通過脫開電動機與機械部分的連接進行試驗。為了確認故障部位，維修時首先在機床斷電、松開夾緊機構的情況下，手動轉動Z軸絲杠，未發現機械傳動系統的異常，初步判定故障是由伺服系統或數控裝置不良引起的。

      為了進一步確定故障部位，維修時在系統接通的情況下，利用手輪少量移動Z軸(移動距離應控制在系統設定的Zui大允許跟隨誤差以內，防止出現跟隨誤差報警)，測量Z軸直流驅動器的速度給定電壓，經檢查發現速度給定有電壓輸入，其值大小與手輪移動的距離、方向有關。由此可以確認數控裝置工作正常，故障是由于伺服驅動器的不良引起的。

      檢查驅動器發現，驅動器本身狀態指示燈無報警，基本上可以排除驅動器主回路的故障。考慮到該機床X、Z軸驅動器型號相同，通過逐一交換驅動器的控制板確認故障部位在6RA26**直流驅動器的A2板。

      根據SIEMENS6RA26**系列直流伺服驅動器的原理圖，逐一檢查、測量各級信號，Zui后確認故障原因是由于A2板上的集成電壓比較器N7(型號：LM348)不良引起的：更換后，機床恢復正常。

      2、故障現象：一臺配套SIEMENS850系統、6RA26**系列直流伺服驅動系統的進口臥式加工中心，在開機后，手動移動X軸，機床X軸工作臺不運動，CNC出現X跟隨誤差超差報警

      分析與處理過程：由于機床其他坐標軸工作正常，X軸驅動器無報警，全部狀態指示燈指示無故障，為了確定故障部位，考慮到6RA26**系列直流伺服驅動器的速度/電流調節板A2相同，維修時將X軸驅動器的A2板與Y軸驅動器的A2板進行了對調試驗。經試驗發現，X軸可以正常工作，但Y軸出現跟隨超差報警。

      根據這一現象，可以得出X軸驅動器的速度/電流調節器板不良的結論。根據SIEMENS6RA26**系列直流伺服驅動器原理圖，測量檢查發現，當少量移動X軸時驅動器的速度給定輸入端57與69端子間有模擬量輸入，測量驅動器檢測端B1，速度模擬量電壓正確，但速度比例調節器N4(LM301)的6腳輸出始終為0V。

      對照原理圖逐一檢查速度調節器LM301的反饋電阻R25、R27、R21，偏移調節電阻R10、R12、R13、R15、R14、R12，以及LM301的輸入保護二極管V1、V2，給定濾波環節R1、C1、R20、V14，速度反饋濾波環節的R27、R28、R8、R3、C5、R4等外圍元器件，確認全部元器件均無故障。

      因此，確認故障原因是由于LM301集成運放不良引起的；更換LM301后，機床恢復正常工作，故障排除。